电子纸微杯结构金属模具的设计与制作

• 作者: 朱鹏飞 浦东林 胡进 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 电子纸 微杯模具 光刻电铸
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 174-177
• 分类号: TN27
• 字数: 1749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20112602.0174

摘要

提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具.在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成"微杯"图形,然后通过电铸工艺制作出镍金属模具.实际制作的"蜂窝"分布的微杯结构参数与设计参数基本吻合.该工艺流程适合研制更大尺寸的电子纸的微杯模具,将为"微杯"模具制作提供一种有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦东林	苏州大学信息光学工程研究所	22	47	4.0	5.0
2	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
3	魏国军	苏州大学信息光学工程研究所	19	170	8.0	12.0
4	胡进	苏州大学信息光学工程研究所	11	49	4.0	6.0
5	朱鹏飞		1	2	1.0	1.0