同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿

• 作者: 卢启鹏 彭忠琦 高飒飒
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射 压弯机构 水平偏转 面形误差 补偿
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2644-2650
• 分类号: TH744.1
• 字数: 2576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2644

摘要

为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法.在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析；针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素；最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法.研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上.利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14 μrad减小到0.15 μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21 μrad减小到0.86 μrad.由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢启鹏	中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室	63	574	13.0	22.0
2	彭忠琦	中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室	27	364	9.0	19.0
3	高飒飒	中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室	3	20	2.0	3.0