基于弯曲板波的延迟线振荡器的ANSYS仿真

• 作者: 张祖伟 温志渝 胡晶 陈李
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 延迟线振荡器 弯曲板波(FPW) ANSYS软件 3D模型 谐响应分析
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 664-668
• 分类号: TH703|TN752
• 字数: 2525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.10.009

摘要

针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有限元软件ANSYS建立了基于弯曲板波的延迟线振荡器的3D有限元模型,并对其进行了谐响应分析以及瞬态动力学分析.谐响应分析得到A0模式的谐振频率为37.2 MHz,与理论计算结果的相对误差为9.3％;瞬态动力学分析得到A0模式的谐振频率为39.1 MHz,与理论计算结果的相对误差为4.6％.计算和仿真为基于弯曲板波的延迟线振荡器的结构设计提供了重要的依据.