新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统设计

• 作者: 张海燕 曹岚 朱宪亮 杨波 龚海梅
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外组件 寿命试验 真空 自动化
• 年，卷（期）: 2011,（28）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 20-23
• 分类号: TP273+.5
• 字数: 3594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2011.28.001

摘要

依据新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统的技术要求,设计了具有两套抽气系统的全自动化高真空排气台,主真空系统以机械泵和分子泵作为前级泵,溅射离子泵作为主抽泵；辅助真空系统由机械泵和分子泵组成,用于主系统预抽.该真空系统采用计算机控制技术程控真空排气工艺,为多工位结构,具有全自动化的功能.根据理论计算分析,该设备能满足红外组件寿命试验对真空的要求.