光刻照明系统参数测试的数据通信可靠性研究

• 作者: 曹益平 梁有伟
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻照明系统 串行通信 VC++6.0 MsComm控件 误码率
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 73-76
• 分类号: TG502.33|TB96|TN23
• 字数: 2451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2011.11.023

摘要

本文实现了光刻照明系统参数测试的串行数据通信,及参数数据实时曲线绘制,并通过RS - 232与RS-485的转换,达到了在50m的数据远程通信.分析了通信过程中误码的来源,提出采取选择下位机适配晶振频率的方法,解决了串行通讯高速率与可靠性之间矛盾,可实现串行数据高速低误差传输.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平		136	874	15.0	24.0
2	梁有伟		1	0	0.0	0.0