球内反射式光纤测头

• 作者: 向大超 石照耀 蔡轶珩 韩欣
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤测头 接触式测量 球内反射 图像处理技术
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2740-2746
• 分类号: TP391
• 字数: 3354字
• 语种: 中文

摘要

测头系统作为精密量仪的关键部件,其精度高低直接影响量仪的测试性能,因此一直受到精密测量领域的关注.目前,广泛使用的三叉式触发测头,在结构上存在各向异性、测杆变形等带来的误差问题,制约了精度的提高.为此,提出一种新型的球内反射式光纤测头,充分利用了接触式测量和非接触式测量的优点,采用特殊的光纤球内反射结构,并运用计算机图像技术进行信息处理.通过原理的探索、实验样机的研制以及试验验证,该球内反射式光纤测头原理完全可行,在一维微位移平台上实验得到测头的测量位移量阈值小于0.1 μm,单向重复性精度达到0.0449.μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石照耀	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	144	1767	19.0	39.0
2	蔡轶珩	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	50	767	13.0	26.0
3	韩欣	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	3	16	3.0	3.0
4	向大超	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	2	7	2.0	2.0