纳米科学技术中的离子束

• 作者: 聂树真
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米科学技术 聚焦离子束 材料表征 纳米尺度 高能离子 制作技术 晶体合成 离子植入
• 年，卷（期）: gwkjxspj_2011,（3）
• 页码范围: 16
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.7

摘要

在纳米尺度材料表征和加工中，高能离子束是其研究和制作技术的基础。具有特制光、磁和电特性的材料能够由离子植入纳米晶体合成来制备。聚焦离子束可以在纳米尺度上切削和积淀材料，而高能离子的散射是一种独特和定量的工具，用于高速电子器件的工艺过程开发，并且用于组织工程的三维纳米结构和在单晶上的纳米射流实验都可以应用质子束来实现。因此，在纳米科学技术中离子束正在发挥着越来越重要的作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂树真	中国科学院力学研究所	54	7	1.0	2.0