多孔硅制备的二维光子晶体生长过程监控

• 作者: 刘洪利 崔宗敏 张轩雄
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 化学
• 关键词: 二维光子晶体 多孔硅 电化学腐蚀 虚拟仪器
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 光纤与光通信
• 页码范围: 59-62
• 分类号: O646
• 字数: 2303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2011.06.013

摘要

采用单槽电化学腐蚀法在预置有倒金字塔结构的n型单晶硅上制备用于二维光子晶体的多孔硅。利用基于LabVIEW的虚拟仪器技术对实验仪器编程，搭建实时测控系统，实现对反应过程中所需电源的控制，并且实时显示采集到的随时间变化的电压和电流信号，将采集的数据存储在计算机里。实验表明，恒电流供电模式下致使电压剧烈变动，导致多孔硅侧向腐蚀严重，然而，恒电压供电模式下，能够有效地抑制侧向腐蚀。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔宗敏	上海市现代光学系统重点实验室上海理工大学光电信息与计算机工程学院	1	0	0.0	0.0
2	刘洪利	上海市现代光学系统重点实验室上海理工大学光电信息与计算机工程学院	1	0	0.0	0.0