大范围扫描原子力显微镜自动调平控制技术

• 作者: 初明璋 林云生 殷伯华 陈代谢 韩立
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 大范围 自动调平控制
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 225-229
• 分类号: TH742|TN16
• 字数: 2396字
• 语种: 中文

摘要

为了进一步扩大原子力显微镜(AFM)的应用范围,研制出一套大范围高速AFM系统.该系统采用上、下两个扫描器,上扫描器负责Z方向闭环控制的动态响应,下扫描器负责X、Y方向平面扫描及Z方向补偿控制.针对样品放置倾斜对大范围扫描成像的影响,提出基于多线扫描的样品自动调平控制技术.首先通过多线扫描确定样品倾斜位置,然后将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达,最后将位移差换算为控制电压作为扫描器Z向的前馈控制输入.实验结果表明,能消除样品倾斜对AFM大范围扫描的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷伯华	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	24	94	6.0	8.0
2	韩立	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	98	376	9.0	13.0
3	初明璋	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	15	85	6.0	8.0
4	林云生	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	21	148	8.0	11.0
5	陈代谢		12	55	4.0	7.0