原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法

• 作者: 孟永钢 张向军 陈天星
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子力显微镜 摩擦力标定 楔形标定法 聚焦离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 70-75
• 分类号: O313.5
• 字数: 2805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.04.015

摘要

原子力显微镜(AFM)摩擦力的标定是利用AFM测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题.传统的Ogletree楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响,当载荷较小时,标定出的摩擦因数与真实值相比偏小.文中在Ogletree法的基础上,推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法.利用改进楔形法,分别在标准光栅和聚焦离子束刻蚀(FIB)加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定.试验结果表明,与常用的标准光栅相比,利用聚焦离子束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据,标定结果更为准确.将改进楔形法和Ogletree法的标定结果进行了比较,结果表明,在载荷较低时(＜6 μN),改进楔形法更为准确；载荷较高时(＞6 μN),Ogletree法与改进楔形法得到的结果相近.改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟永钢	清华大学摩擦学国家重点实验室	94	907	17.0	24.0
2	张向军	清华大学摩擦学国家重点实验室	49	266	10.0	14.0
3	陈天星	清华大学摩擦学国家重点实验室	1	3	1.0	1.0