掺Fe3+TiO2薄膜型氧气传感器研究

• 作者: 代作海 唐政维 徐洋 李银国 王巍 王晓磊 白晨旭
• 来源期刊: 重庆邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Ti02 Fe3+ 氧气传感器 薄膜气敏传感器
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 443-446
• 分类号: TN37
• 字数: 2483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3979/j.issn.1673-825X.2011.04.013

摘要

讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理,重点分析了掺铁对氧敏特性的影响.设计出了基于Ti02薄膜结构氧气传感器,通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试.实验结果表明,该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应,且具有低电阻的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍	重庆邮电大学光电工程学院	72	264	9.0	10.0
2	李银国	重庆邮电大学自动化学院	46	527	13.0	21.0
3	徐洋	重庆邮电大学自动化学院	42	264	9.0	13.0
4	唐政维	重庆邮电大学光电工程学院	25	163	6.0	12.0
5	王晓磊	重庆邮电大学光电工程学院	5	11	2.0	3.0
6	白晨旭	重庆邮电大学光电工程学院	6	47	5.0	6.0
7	代作海	重庆邮电大学光电工程学院	3	9	2.0	3.0