大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用

• 作者: 彭云峰 杨炜 毕果 王振忠 郭隐彪
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米加工 检测 超精密加工装备 快速抛光 加工监控 表面织构化
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 286-292
• 分类号: TG58
• 字数: 5311字
• 语种: 中文

摘要

超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭隐彪		1	8	1.0	1.0
2	王振忠		1	8	1.0	1.0
3	彭云峰		1	8	1.0	1.0
4	杨炜		1	8	1.0	1.0
5	毕果		1	8	1.0	1.0