谈硅烷法制备太阳能级多晶硅的工艺

• 作者: 张纯 肖全松
• 来源期刊: 江西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 硅烷法 太阳能级 工艺
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 21-25
• 分类号: TQ153.2
• 字数: 2270字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-3103.2011.03.006

摘要

本文综述了硅烷热解法制备多晶硅的几种工艺,特别是对于硅烷的制备方法进行了详细的探讨。如Komatsu硅化镁法、碱金属氢化物中的硅烷法和氟化硅以及Union Carbide的歧化法。同时,还介绍了Ulmer法和Cadet电化学制备硅烷的方法,指出Na2 SiF6法是一种比较优秀的路线。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张纯	江西赛维LDK光伏硅科技有限公司生产技术部	2	24	1.0	2.0
2	肖全松	江西赛维LDK光伏硅科技有限公司生产技术部	2	24	1.0	2.0