扫描电子显微镜低真空模式的应用

• 作者: 宋子濂 许亚娟 陈剑峰 项彬
• 来源期刊: 理化检验：物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 低真空模式 应用 不导电样品 多孔样品
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 试验设备及应用
• 页码范围: 786-789
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.215.3
• 语种: 中文

摘要

低真空模式是扫描电镜的一种新型观测模式,它的最大特点是可以对不导电样品直接进行观察。这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象,又省去了对样品表面进行导电喷镀,还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外,扫描电镜低真空模式还可以对低致密度或多孔样品进行直接观察,这是高真空模式无法取代的。