接触式干涉仪使用中应注意的问题

• 作者: 邱圣虎
• 来源期刊: 中国计量
• 学科: 工学
• 关键词: 接触式干涉仪 干涉滤光片 干涉条纹 光程差 分度值 单色光 疏密度 测量
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 技术篇
• 页码范围: 114-115
• 分类号: TH711.1
• 字数: 1286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9364.2011.11.074

摘要

接触式干涉仪采用同一光源的两束光由于光程差而产生的另级次干涉带（即黑色干涉条纹）作为测量标线。另级次干涉带移动的距离代表了光程改变所移动的距离，该仪器的测量分度值是由干涉带的疏密程度决定的，在一固定的刻线范围内用单色光（可用滤光片产生）可见多条干涉条纹。因此。对干涉带疏密度的精确定量、干涉滤光片的波长准确与否直接影响仪器的示值准确性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱圣虎		3	2	1.0	1.0