基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计

• 作者: 周善波 沈传兵 王孝 王玉花 谢行
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 容栅 千分传感器 半导体硅片
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 95-96,103
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.08.030

摘要

容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王孝		10	15	2.0	3.0
2	王玉花		9	13	2.0	3.0
3	谢行		15	19	3.0	3.0
4	周善波		8	9	2.0	2.0
5	沈传兵		6	6	1.0	2.0