非正交二维MEMS倾斜镜的研制

• 作者: 姚军 庄须叶 汪为民 陶逢刚 高福华
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 转轴非正交倾斜镜 二维倾斜镜 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1845-1851
• 分类号: TN703|TN366
• 字数: 2467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1845

摘要

为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜.倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形.采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响.通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的吸合失效;另外,上、下电极仅在其边缘处重叠,确保了静电力的有效利用.研制的倾斜镜驱动电压低,在3.5V的电压下可实现绕水平X轴0.16°、绕倾斜Y轴0.03°的偏转,Y轴与X轴成145.37°夹角.倾斜镜结构简单,可实现绕两个非正交转轴的偏转,空间适应性好,且有效避免了静电吸合对镜子的损坏.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高福华	四川大学物理学院高能量密度物理与技术教育部重点实验室	56	392	11.0	16.0
2	姚军	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	32	355	11.0	18.0
3	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0
4	庄须叶	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	9	102	5.0	9.0