微机电系统文献计量分析

• 作者: 万勇 潘懿 马廷灿
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 文献计量 分析
• 年，卷（期）: 2011,（20）
• 所属期刊栏目: 信息与管理
• 页码范围: 20-22
• 分类号: TN42
• 字数: 1819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2011.10(x).07

摘要

微机电系统(MEMS)是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器、微系统等.MEMS作为新兴的高技术产业之一,已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一.本文通过对MEMS领域的SCI文献计量分析,结果显示,近年来,该领域的研究呈现出增长趋势,美国在MEMS领域的研究处于绝对领先的地位.SC文献分析表明,薄膜、微加工、封装、传感器等是近年采研究的热点领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万勇	中国科学院武汉文献情报中心	38	210	8.0	13.0
2	马廷灿	中国科学院武汉文献情报中心	36	154	7.0	10.0
3	潘懿	中国科学院武汉文献情报中心	8	23	3.0	4.0