基于高速光纤链路的同步测控机制

• 作者: 周云飞 王耀 程鑫 胡永兵
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤链路 同步 超精密 测控
• 年，卷（期）: 2011,（19）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 2325-2330
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3665字
• 语种: 中文

摘要

针对光刻机工作台多维纳米级同步运动,提出一种基于光纤链路的同步测控机制,实现了针对各运动轴控制指令执行和传感数据采集的严格同步;为每个运动控制器与其测控单元之间设计了独占的高速数据通道,确保测控的实时性;设计了基于内部总线的同步周期触发,定义了一致的传感器、执行器单元执行时序,以及精确光纤链路数据传输模型,确保测控的高同步性。实验结果表明,该测控机制的总体输出延迟小于0.65μs,同步误差小于20ns,若提高光纤链路速率,能进一步提升同步测控性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	140	2386	28.0	40.0
2	胡永兵	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	5	51	4.0	5.0
3	王耀	华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室	8	50	5.0	7.0