斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究

• 作者: 周宇轩 李建欣 石钖 袁群 褚光 高志山
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 红外干涉仪 双视场 非球面 光栅尺
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 195-200
• 页数: 6页
• 分类号: TN21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0808001

摘要

研制了斐索式红外干涉仪,口径为120mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量.干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难.采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定.使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差.检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ,测量重复性RMS优于0.002λ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建欣		50	485	11.0	21.0
2	高志山		71	465	12.0	18.0
3	袁群		19	28	4.0	4.0
4	周宇轩		2	0	0.0	0.0
5	褚光		2	0	0.0	0.0
6	石钖		1	0	0.0	0.0