热丝辐射距离和W-C梯度过渡层对高速钢基体气相生长的影响

• 作者: 余志明 刘培植 朱笑东 陈中 魏秋平
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 高速钢 化学气相沉积 过渡层 热丝辐射距离
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 2825-2837
• 分类号: TB43
• 字数: 7400字
• 语种: 中文

摘要

使用反应磁控溅射技术在W 18Cr4V高速钢基体表面制备W-C梯度过渡层(WCGC),采用热丝化学沉积法(HFCVD),以甲烷和氢气为反应气体,在基体表面生长金刚石膜.采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼光谱(Raman)对W-C过渡层和金刚石膜进行检测分析,研究热丝辐射距离和沉积气压对WCGC与金刚石膜的的影响.结果表明:热丝辐射距离对金刚石薄膜和WCGC均有较大影响；WCGC过渡层能够在一定热丝辐射范围内降低Fe在金刚石膜沉积过程的负面影响,有效提高金刚石的形核率,在基体表面得到连续致密的金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
6	刘培植	中南大学材料科学与工程学院	4	19	3.0	4.0
7	陈中	中南大学材料科学与工程学院	3	16	2.0	3.0
8	朱笑东	中南大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0