全反射式无焦ZH系统的装调

• 作者: 何红星 潘顺臣 赵劲松
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学系统 全反射无焦ZH系统 装调 光轴同轴
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1743-1749
• 分类号: TN216
• 字数: 3592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1743

摘要

介绍了一种新颖的共轴全反射式无焦光学系统—ZH系统的装调技术.该系统由两块相对放置的抛物面反射镜和一块45°放置的双面反射镜组成,其两抛物面反射镜可分别从两端安装,从而使双向平面反射镜易于装配.对ZH系统进行了误差分析和装调分析,讨论了元件位置失调带来的系统像差的变化,给出了ZH系统的误差分析结果.由于光线经过ZH系统和分束镜后,光轴在水平方向和垂直方向有平移,平移后的出射光轴与入射光轴的平行需要精确的装调技术来保证.给出了ZH系统的装调方法,采用可见光平行光管进行辅助装调,采用水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜对ZH系统出射光轴的偏移量进行补偿,利用测微组件和测微目镜对装调中平晶、反射镜的调节量进行测量,实现了ZH系统出射光轴与入射光轴的同轴.装调完成后,去掉水平偏移补偿镜和垂直偏移补偿镜,实现了ZH系统光轴的空间平行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵劲松		21	214	8.0	14.0
2	潘顺臣		22	233	8.0	14.0
3	何红星		12	38	3.0	5.0