平面面形绝对检验技术测量误差分析

• 作者: 唐锋 徐洋 徐静浩 王向朝 程欣 范李立
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 绝对检验 奇偶函数法 旋转对称法 镜面对称法
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 204-209
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1008009

摘要

绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量.对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析.绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感.实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95％左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	程欣	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	70	4.0	8.0
3	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
4	范李立	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	27	2.0	5.0
5	徐洋	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	94	4.0	8.0
6	徐静浩	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0