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摘要:
透射式激光外差干涉系统能精确测量待测物的内部折射率分布和厚度信息.设计了应用于干涉系统中的混合光学扫描结构,它由微机电系统(MEMS)振镜和f-θ透镜系统组成.f-θ透镜组由3片不同材料的透镜构成,透镜系统对2μm激光波长有约40%的透射率,可扫描300 mm2的范围.利用Zemax软件从衍射光斑、畸变系数、光束发散角3个方面对f-θ透镜模型进行了优化设计.优化结果表明,f-θ透镜出射扫描光束垂直于待测物体表面,系统焦距为434 mm,畸变像差小于0.5%.最后给出了f-θ透镜的设计实物图,并通过He-Ne激光给出了扫描结果示意图,达到了预期的设计指标.
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文献信息
篇名 2μm激光外差干涉系统中大口径f-θ扫描系统的光学设计
来源期刊 中国激光 学科 工学
关键词 光学设计 外差干涉仪 f-θ透镜 扫描系统 畸变系数
年,卷(期) 2011,(12) 所属期刊栏目 光学设计与制造
研究方向 页码范围 231-235
页数 5页 分类号 O439|TH744.3
字数 语种 中文
DOI 10.3788/CJL201138.1216002
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研究主题发展历程
节点文献
光学设计
外差干涉仪
f-θ透镜
扫描系统
畸变系数
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导