MEMS器件自动贴片机的研究与设计

• 作者: 刘殿冬 王树增
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 飞行视觉 器件基准的识别 运动控制
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 学术交流
• 页码范围: 35-37
• 分类号: TP242
• 字数: 2709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2011.08.013

摘要

为能够实现MEMS器件生产的自动化、柔性化、高速化,研究和设计具有飞行视觉系统的贴片机.该贴片机能够自动找寻器件基准图像信息,在飞行中自动捕获拾取芯片位置的图像信息,求取特征点的XY坐标及角度坐标,并根据计算结果自行规划执行单元的运动轨迹.通过验证,该贴片机能够满足MEMS器件贴片的精度、速度和自动化的要求,可有效提高MEMS器件的生产质量,减少劳动强度,提高生产效率.为MEMS器件生产的自动化提供了解决方案,具有重要的经济效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘殿冬		2	0	0.0	0.0
2	王树增		2	0	0.0	0.0