晶圆制造物料运输系统实时调度方法

• 作者: 吴立辉 孙寅斌 张洁
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 匈牙利算法 自动物料运输系统
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 238-239,244
• 分类号: TH166
• 字数: 2179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2011.02.083

摘要

Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大.为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞,提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法,并建立工件调度模型.基于300 mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明,与传统的Interbay物料运输调度方法相比,该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	上海交通大学计算机集成制造研究所	187	1538	20.0	32.0
2	孙寅斌	上海交通大学计算机集成制造研究所	3	18	2.0	3.0
3	吴立辉	上海交通大学计算机集成制造研究所	7	58	5.0	7.0