一种Intrabay物料运输系统的多目标实时调度方法

• 作者: 吴立辉 张洁 朱登洁
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 晶圆制造 Intrabay物料运输系统 调度 多目标 实时
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 制造系统
• 页码范围: 769-774
• 页数: 6页
• 分类号: TH166
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2013.06.013

摘要

为了提高晶圆制造Intrabay物料运输系统(简称Intrabay系统)的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑-匈牙利方法的Intrabay系统多目标实时调度方法.该方法实时响应运输小车空载和晶圆卡请求运输等动态事件,并对各事件时刻的Intrabay系统调度子问题进行多目标优化求解.采用300mm的晶圆制造系统数据进行仿真实验并与传统的Intrabay系统调度方法进行比较,结果表明该方法在Intrabay系统和晶圆加工系统的多个指标综合性能方面优于传统Intrabay系统调度方法,验证了Intrabay系统多目标实时调度方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁		187	1538	20.0	32.0
2	朱登洁		14	47	4.0	6.0
3	吴立辉		39	133	6.0	9.0