氧化钇陶瓷涂层的制备及结构研究

• 作者: 刘邦武 夏洋 王文东 罗小晨
• 来源期刊: 热加工工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子喷涂 氧化钇涂层 还原 相变
• 年，卷（期）: 2011,（20）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 116-118
• 分类号: TB321
• 字数: 2739字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3814.2011.20.035

摘要

用等离子喷涂方法以氩气作为主要工作气体在铝基体上制备了氧化钇涂层；采用X射线衍射、扫描电镜和金相分析技术对涂层的形貌及结构进行了分析.结果表明:氧化钇涂层孔隙率约为5.6％；以氢气为辅助气体制备的涂层表面出现了杂色斑点,而用氦气作为辅助气体,可以得到纯正白色的氧化钇涂层.同时,使用Ar/H2气体的涂层中存在较明显的单斜相.而Ar/He气体条件则能在一定程度上抑制喷涂过程中的立方相向单斜相转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏洋	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	67	325	9.0	14.0
2	王文东	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	4	15	3.0	3.0
3	刘邦武	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	17	96	6.0	8.0
4	罗小晨	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	2	11	2.0	2.0