表面波等离子体源的发展现状

• 作者: 刘维清 叶坤涛 董太源
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面波 等离子体 表面等离激元 微波放电
• 年，卷（期）: 2012,（14）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 287-293
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文

摘要

对微波放电产生的平板型表面波等离予体源进行了系统介绍,分析了表面波等离子体的工作原理,探讨了维持表面波等离子体放电的能量吸收机制,介绍了由单模谐振腔阵列、亚波长衍射光栅及开槽天线阵列组成的新型波模转换器.表面波等离子体的产生机理、实现途径、参数特性和数值仿真等方面的研究进展及其所取得的成果,有利于促进新型表面波等离子体源走向产业化应用,并促使微电子产业的功效取得新的突破.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘维清	江西理工大学理学院	18	42	4.0	6.0
2	叶坤涛	江西理工大学理学院	16	48	4.0	6.0
3	董太源	江西理工大学理学院	7	61	5.0	7.0