石英增强光声光谱在氢气纯度分析中的应用

• 作者: 尹王保 张翔 张雷 武红鹏 董磊 贾锁堂 马维光
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英增强光声光谱 气体传感器 氢气纯度分析 音叉式石英晶振
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 环境光学检测技术
• 页码范围: 421-426
• 分类号: O433.4|TN214
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2012.06.003

摘要

设计了一种基于石英增强光声光谱技术的痕量气体传感器,用来检测非纯氢气中的痕量甲烷浓度.传感器被配置了一个微型谐振腔,能够在空间上对声波进行限制,用以增强信号幅值.在这种配置和27 kPa的最优气压下,获得的甲烷探测灵敏度为3.2 ppm(1s平均时间),相应的归一化噪声等效吸收系数(1σ)为2.45× 10-8cm-1 W/Hz1/2.