四极质谱计气体分析与测量系统的研制

• 作者: 崔成和 曹曾 蔡潇 许正华 高霄雁 黄向玫
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: 流导 漏放气率 灵敏度 离子流
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 核聚变工程技术
• 页码范围: 229-234
• 分类号: TL62+8
• 字数: 4366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2012.03.007

摘要

介绍了为开展漏孔检测、氘-氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究而进行的四极质谱计分析与测量系统的研制,描述了真空室结构、抽气设备的选型、测量仪器的选择及控制保护子系统工作方式.对系统进行了包括极限真空、残余气体质谱分析、漏放气率、质谱计性能等测试,结果表明本系统达到了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔成和		19	39	4.0	4.0
2	许正华		8	24	3.0	4.0
3	曹曾		26	78	4.0	7.0
4	黄向玫		7	14	2.0	3.0
5	蔡潇		7	13	2.0	3.0
6	高霄雁		5	6	1.0	2.0