石英音叉扫描探针显微镜

• 作者: 余惠娟 王广红 王毛翠 赵剑 黄强先
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英音叉 钨探针 相位反馈 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器科学与技术
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TH71|TH89
• 字数: 2952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2012.04.001

摘要

石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感.利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头.该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜.首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析.通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性.另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
2	余惠娟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	48	4.0	5.0
3	王广红	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	17	2.0	2.0
4	王毛翠	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	11	1.0	1.0
5	赵剑	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	19	2.0	2.0