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摘要:
石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感.利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头.该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜.首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析.通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性.另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力.
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文献信息
篇名 石英音叉扫描探针显微镜
来源期刊 机械工程学报 学科 工学
关键词 石英音叉 钨探针 相位反馈 扫描探针显微镜
年,卷(期) 2012,(4) 所属期刊栏目 仪器科学与技术
研究方向 页码范围 1-5
页数 分类号 TH71|TH89
字数 2952字 语种 中文
DOI 10.3901/JME.2012.04.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄强先 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 46 319 9.0 15.0
2 余惠娟 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 5 48 4.0 5.0
3 王广红 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 2 17 2.0 2.0
4 王毛翠 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 1 11 1.0 1.0
5 赵剑 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 2 19 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
石英音叉
钨探针
相位反馈
扫描探针显微镜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械工程学报
半月刊
0577-6686
11-2187/TH
大16开
北京百万庄大街22号
2-362
1953
chi
出版文献量(篇)
12176
总下载数(次)
57
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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