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石英音叉扫描探针显微镜
石英音叉扫描探针显微镜
作者:
余惠娟
王广红
王毛翠
赵剑
黄强先
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
石英音叉
钨探针
相位反馈
扫描探针显微镜
摘要:
石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感.利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头.该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜.首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析.通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性.另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力.
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文献信息
篇名
石英音叉扫描探针显微镜
来源期刊
机械工程学报
学科
工学
关键词
石英音叉
钨探针
相位反馈
扫描探针显微镜
年,卷(期)
2012,(4)
所属期刊栏目
仪器科学与技术
研究方向
页码范围
1-5
页数
分类号
TH71|TH89
字数
2952字
语种
中文
DOI
10.3901/JME.2012.04.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
黄强先
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
46
319
9.0
15.0
2
余惠娟
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
5
48
4.0
5.0
3
王广红
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
2
17
2.0
2.0
4
王毛翠
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
1
11
1.0
1.0
5
赵剑
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
2
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钨探针
相位反馈
扫描探针显微镜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械工程学报
主办单位:
中国机械工程学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
0577-6686
CN:
11-2187/TH
开本:
大16开
出版地:
北京百万庄大街22号
邮发代号:
2-362
创刊时间:
1953
语种:
chi
出版文献量(篇)
12176
总下载数(次)
57
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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