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摘要:
介绍了用杂交工艺制备铁电厚膜,这种新的制备技术结合了溶胶-凝胶湿化学方法与传统陶瓷制备工艺。并以可调的微波钛酸锶钡厚膜材料的制备与性能的表征为例,来阐述这种新工艺。结果表明,采用这种创新的杂交工艺,沉积在硅和氧化铝基片上的钛酸锶钡厚膜,可以在低的热处理温度600~700℃成功获得。并且这种工艺可以灵活地制备厚度在几个到几十个微米的致密的、无裂纹和均匀的陶瓷厚膜,制备技术重复性好。厚膜的性能显示:在100 kHz,可轻易得到厚膜的介电损耗低于10-3,可调度为30%~50%之间。
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展望
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前驱物
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氮化铝
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用杂交技术制备厚膜—架起了溶胶-凝胶与传统陶瓷制备工艺之间的桥梁(英文)
来源期刊 苏州科技学院学报:工程技术版 学科 工学
关键词 杂交工艺 溶胶-凝胶 微波 厚膜 介电常数 可调度
年,卷(期) 2012,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 51-55
页数 5页 分类号 TQ174
字数 969字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-0679.2012.01.013
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研究主题发展历程
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杂交工艺
溶胶-凝胶
微波
厚膜
介电常数
可调度
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苏州科技大学学报(工程技术版)
季刊
2096-3270
32-1873/N
大16开
江苏省苏州市科锐路1号
1988
chi
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