非球面部分补偿检测系统的误差分析与处理

• 作者: 卓永模 杨甬英 田超 韦涛 骆永洁
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 部分补偿法 误差分析 误差存储
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 能源与机械工程
• 页码范围: 636-642,733
• 页数: 8页
• 分类号: TH741.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.04.010

摘要

为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分析,提出基于系统建模的光线追迹与误差存储相结合的系统误差处理方法,将系统误差归为由系统建模得到检测光路的误差和由误差存储得到不含检测光路的干涉仪系统的误差.通过计算机仿真及实验证明,部分补偿检测系统采用该误差处理方法去除系统误差后,可以由逆向迭代优化重构(ROR)技术重构出更精确的非球面面形.将该非球面面形与采用无像羞点法得到的面形对比,结果较吻合,均方根(RMS)精度接近0.02λ(λ为波长).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卓永模		19	118	6.0	10.0
2	杨甬英		44	354	11.0	18.0
3	田超		6	33	2.0	5.0
4	骆永洁		4	13	1.0	3.0
5	韦涛		1	0	0.0	0.0