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臭氧在氧化铝薄膜生长过程中氧化机理的研究
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摘要：
使用密度泛函的B3LYP方法研究了臭氧在原子层沉积制备氧化铝过程中的初始氧化机理,计算发现:臭氧的端位O应该首先与Al原子配位成键,然后再与-CH3上邻近的H原子结合,最后释放O2,形成AlOH基团,因为这一路径是能量上更加有利的过程.
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期刊影响力
河北工业科技
主办单位：
河北科技大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1008-1534
CN：
13-1226/TM
开本：
大16开
出版地：
河北省石家庄市裕华东路70号
邮发代号：
18-327
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
2570
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