硅基底TiO2纳米管阵列的制备

• 作者: 刘伟 孙家林 杨铭杰
• 来源期刊: 金属功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2纳米管阵列 阳极氧化法 硅基底 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 6-9
• 分类号: TB34|TG115.21+5.3|TB43
• 字数: 1845字
• 语种: 中文

摘要

本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片.分别在乙二醇和丙三醇两种电解液中进行阳极氧化,均在硅基底上形成了高度有序的TiO2纳米管阵列.该方法与硅工艺集成技术兼容,有利于基于TiO2纳米管阵列的微纳米器件的设计和制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	清华大学材料科学与工程系	109	766	14.0	22.0
2	孙家林	清华大学物理系	11	38	4.0	6.0
3	杨铭杰	清华大学材料科学与工程系	1	4	1.0	1.0