篇名 | Macro Model Study for Nonlinear Spring of Tense Torsion Bar in Gap-Closing Type Electrostatic Micromirror | ||
来源期刊 | 机械工程与自动化:英文版 | 学科 | 工学 |
关键词 | 非线性弹簧 扭杆 静电 微镜 宏模型 非线性性质 宏观模型 镜像抑制 | ||
年,卷(期) | 2012,(7) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 446-454 | |
页数 | 9页 | 分类号 | TN929.11 |
字数 | 语种 | ||
DOI |