应用于精密测量的高性能隔振平台的研制

• 作者: 刘琦
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 精密测量 振动 空气弹簧 隔振平台
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 82-85
• 分类号: TG803|TH122
• 字数: 2479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2012.05.025

摘要

随着传感器技术的发展和测量方法的改进,各种精密测量仪器的性能得到了很大的提高,但是振动干扰很大程度上限制了精密仪器的性能发挥,尤其在各类高分辨率测量场合和超精密加工制造过程更是如此.本文设计了以空气弹簧为主要元件的隔振平台,并对隔振平台的性能进行了测试,实验证明该隔振平台可以有效地隔离和减小外界振动的影响,满足精密测量的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘琦		6	16	1.0	3.0