基于双反馈模式的大范围自感应AFM测量系统

• 作者: 傅星 王思明 王龙龙 胡小唐 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜测头 双反馈测量模式 压电陶瓷台 纳米定位平台
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 385-390
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 4592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.05.01

摘要

为了提高原子力显微镜(AFM)的测量范围,设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统,测量系统中有两条反馈回路:一条反馈回路由压电陶瓷与AFM测头组成,动态响应较快的压电陶瓷位移台的运动量可以表征被测样品表面的高频信息；另一条反馈回路由压电陶瓷位移台和纳米测量机(NMM)的反馈控制器组成,利用压电陶瓷位移台的位移信号控制NMM运动,NMM的mm级z向测量范围使得被测样品较大变化范围的低频轮廓信息很容易地被表征出来.使用本系统对平面样品和一维栅格进行了测量实验,实验结果表明采用双反馈的测量模式的AFM测量系统能够有效地表征被测样品的低频轮廓信息和表面高频信息,测量范围能够达到mm级,纵向分辨率达到nm级,具有良好测量重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0
5	王龙龙	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
6	王思明	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	3	1.0	1.0