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摘要:
游离磨粒线锯切割存在污染环境和切割效率低的不足,固着磨粒线锯切割具有切缝小、切片表面质量好、切割速度快和消除工业浪费等优点成为了人们的研究热点.固着磨粒线锯和游离磨粒线锯最主要的区别是切割线,切割线的特性直接影响硅片的切割质量及生产效率.本文阐述了固着磨粒线锯切割的优点,总结了目前几种固着磨粒切割线的制造方法,包括:电镀、电火花、钎焊、树脂、机械碾压和挤压与冲压等,并介绍了固着磨粒切割线的改进方法.
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文献信息
篇名 固着磨粒切割线研究进展
来源期刊 金刚石与磨料磨具工程 学科 工学
关键词 固着磨粒线锯 切割线 制造方法
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 59-63
页数 5页 分类号 TG74
字数 3746字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄国华 西安交通大学太阳能研究所 7 87 4.0 7.0
2 黄卓 西安交通大学太阳能研究所 6 75 5.0 6.0
3 施钰川 西安交通大学太阳能研究所 5 39 3.0 5.0
4 潘慧 西安交通大学太阳能研究所 2 6 1.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
固着磨粒线锯
切割线
制造方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
双月刊
1006-852X
41-1243/TG
16开
郑州市高新区梧桐街121号
36-34
1970
chi
出版文献量(篇)
2468
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7
总被引数(次)
15377
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