等离子体制备纳米晶相氮化硅粉体的研究

• 作者: 宋淑然 王海林 许利霞 赵文锋 陈俊芳
• 来源期刊: 沈阳农业大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 尘埃等离子体 Si3N4 纳米粉体
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 117-119
• 分类号: O434.14
• 字数: 2481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1700.2012.01.026

摘要

为了提高氮化硅材料的弹性模量和烧结后的强度和韧度,通过感应耦合等离子体技术产生尘埃等离子体,采用SiH4和N2为反应气体,气相沉积Si3N4纳米粉体材料.利用朗缪尔探针技术测得沉积室中离子密度分布,获得气压为53Pa时,不同射频功率和不同位置处离子密度分布规律.通过TEM、IR和XRD技术对Si3N4纳米粉体材料微结构进行了分析.结果表明:尘埃等离子体技术制备的纳米Si3N4粉体材料为球形,均匀分布在20nm,并且具有β-Si3N4晶相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海林	华南农业大学工程学院	57	236	8.0	13.0
2	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
3	宋淑然	华南农业大学工程学院	46	428	12.0	20.0
4	许利霞	华南农业大学工程学院	18	121	6.0	10.0
5	赵文锋	华南农业大学工程学院	23	71	5.0	7.0