AZ31镁合金表面磁控溅射TiO2薄膜的表面特性的研究

• 作者: 沈娇雯 祝向荣 邴乃慈 陈秋荣
• 来源期刊: 上海第二工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 镁合金 表面特性 TiO2薄膜：磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 环境科学与工程
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.22
• 字数: 869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4543.2012.01.008

摘要

利用射频磁控溅射工艺在AZ31镁合金表面溅射了TiO2薄膜，并对薄膜的特性进行了研究。扫描电镜观察显示制备态的TiO2薄膜结构致密，表面无缺陷。对薄膜经过200℃保温30分钟、常温冷却或者85℃保持一时后放到常温保持15分钟，连续实施4次该操作的两种热处理工艺后，观察到薄膜表面致密结构没有发生变化，表面也没有缺陷生成。这表明了薄膜具有热稳定性。薄膜表面硬度特性研究表明薄膜表面的显微硬度为1．51GPa。最后，研究了表面镀有TiO2薄膜的AZ31镁合金在模拟人体体液环境下的腐蚀（降解）特性。结果表明，在7天腐蚀过程中，AZ31镁合金基底没有被腐蚀，因此TiO2薄膜对AZ31镁合金基底具有很好的保护作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈娇雯	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	4	7	2.0	2.0
2	邴乃慈	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	28	144	7.0	11.0
3	祝向荣	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	23	26	2.0	4.0
4	陈秋荣	中国科学院嘉兴轻合金工程中心	25	154	8.0	11.0