用于微胶接的pL级点胶方法

• 作者: 史亚莉 张正涛 徐德 李福东 杨鑫
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微装配 微胶接 pL级胶滴 点胶 时间压力型
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2744-2750
• 页数: 7页
• 分类号: TH706|TL632
• 字数: 2229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122012.2744

摘要

为了获得与微米级零件尺寸相匹配的pL级胶滴,分析了注射式、喷射式和转移式3种常用的微小液滴生成机制.基于注射式原理设计了一种时间压力型pL级点胶方案,通过视觉在线检测胶斑直径,控制点胶针尖内径、作用压力和时间,得到pL级胶斑.实验研究了针尖内径、压力、时间对胶斑直径的影响,并将此方法应用于激光惯性约束核聚变实验中冷冻靶装配时靶丸零件与充气管零件之间的微胶接.实验结果表明:胶斑直径与点胶针尖内径、压力和时间三者成正比例关系,当使用端部1.2 μm内径的点胶针,设置压力为0 psi(1 psi≈6.895 kPa),时间为8～10 s时,可以满足胶斑体积小于3 pL,直径小于40 μm的指标要求.该方法可实现微米级零件微胶接时的pL级点胶,而且工艺简单,易于实现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨鑫	中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心	54	627	14.0	21.0
2	史亚莉	中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心	13	210	9.0	13.0
3	徐德	中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心	76	1525	20.0	36.0
4	张正涛	中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心	17	205	7.0	14.0
5	李福东	中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心	2	12	2.0	2.0