时间/压力型pL级微点胶技术

• 作者: 史亚莉 张娟 张文生 张正涛 徐德
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: pL 微点胶实验平台 时间/压力型点胶技术
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2724-2730
• 分类号: TH16
• 字数: 2731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2724

摘要

针对惯性约束核聚变实验装配冷冻靶中靶丸与充气管零件时对用胶量的要求(3 pL),对时间/压力型pL级微点胶技术进行了研究.将细胞实验用的微注射器改造成时间/压力型微量点胶机,并使用针尖最小内径为0.5 μm,由石英材料制作的毛细针进行点胶.搭建了一个微点胶实验平台,设计了分辨率为1.57 μm的双目显微视觉检测系统,对毛细针尖的位置和胶滴大小进行实时检测,并使用分辨率为3 μm的三自由度微运动平台对针尖位置进行控制.介绍了微点胶实验平台的硬件组成、控制系统以及点胶流程,并在该平台上进行了胶量控制、胶滴定位实验和胶斑测量实验,研究了影响胶量控制的主要因素和最小可控胶量等关键微点胶工艺.实验结果表明,在常温下使用黏度为5P的紫外固化环氧胶,该平台可实现的最小点胶量为2 pL,可用于需要pL级点胶的微装配中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张娟	中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心	62	472	11.0	20.0
2	史亚莉	中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心	13	210	9.0	13.0
3	张文生	中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心	98	1246	18.0	33.0
4	徐德	中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心	76	1525	20.0	36.0
5	张正涛	中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心	17	205	7.0	14.0