环形电镀金刚石线锯研究

• 作者: 刘莹 吕智 周世威 王进保 郑超 陈超
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 环形金刚石线锯 硬脆材料 焊接
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 19-22
• 分类号: TQ164|TG74
• 字数: 2694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2012.01.006

摘要

环形电镀金刚石线锯是将金刚石磨粒固着于环形钢丝基体上的一种切割工具.使用自制的环形电镀金刚石线锯进行多晶硅的切割试验,阐述了钢丝基体材料的选择,焊接方法,环形电镀金刚石线锯的制作工艺.采用切割工艺参数为:锯丝线速度20～40m/s,工件进给速度2～10mm/min,锯丝张紧力60～100N.试验表明:硅片表面平整光滑,表面粗糙度Ra达到0.328～0.562μm,体现出环形金刚石线锯切割的良好特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	桂林理工大学材料科学与工程学院	10	25	3.0	4.0
2	王进保		24	98	6.0	8.0
3	陈超		3	10	2.0	3.0
4	吕智	桂林理工大学材料科学与工程学院	1	7	1.0	1.0
8	郑超		8	41	4.0	6.0
9	周世威		1	7	1.0	1.0