电镀金刚石线锯超声振动切割多晶硅材料工艺研究

• 作者: 张辽远 韩东泽
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅片 超声波加工 金刚石线锯 材料去除率
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 65-69
• 分类号: TQ164|TG74
• 语种: 中文

摘要

通过电镀金刚石线锯在超声振动下切割多晶硅的实验,研究了工艺参数对材料去除率的影响,建立了单颗金刚石磨粒材料去除模型,分析了金刚石粒度、静压力和线速度与材料去除率的关系.分析表明:基于超声波线锯切削条件下,适当提高金刚石粒度、静压力和线速度有利于提高材料去除率.施加超声振动后金刚石锯切加工效率平均提高1～2.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辽远		48	238	10.0	13.0
2	韩东泽		1	11	1.0	1.0