基于超声振动下电镀金刚石线切割单晶硅材料的实验研究

• 作者: 吕忠秀 张辽远 王硕 邵中青
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波加工 单晶硅 电镀金刚石线锯
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 71-75
• 分类号: TG74|TQ164
• 语种: 中文

摘要

在总结了国内外文献资料的基础上,利用自行制造的完全具有自主知识产权的超声线切割加工机床进行了加工实验,对超声线切割加工机理与工艺进行了深入研究.结果表明:施加超声作用要比普通锯切时的锯切力低,切削效率高,表面粗糙度小,同时利用ABAQUS软件进行有限元仿真分析,进一步研究了电镀金刚石线锯超声振动复合加工锯切技术的工艺规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辽远		48	238	10.0	13.0
2	王硕		8	14	2.0	3.0
3	邵中青		3	6	1.0	2.0
4	吕忠秀		3	6	1.0	2.0