金刚石线锯切割多晶硅表面形貌特征分析

• 作者: 吕忠秀 张辽远 王硕 邵中青
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 多晶硅 表面形貌 粗糙度
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TQ164
• 字数: 2631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.2.0013

摘要

采用自制的实验设备研究电镀金刚石线锯对硬脆材料多晶硅的锯切实验，使用日本 VHX-1000C型超景深三维显微系统对多晶硅切片的表面形貌特征进行研究，分析了工件进给速度和预平衡力大小以及是否施加超声对锯切表面粗糙度的影响。研究结果表明：多晶硅切片表面主要由较长较深沟槽、较浅划痕、大量表面破碎及少量较大较深的凹坑构成。另外，随着工件进给速度的增大，硅片的表面粗糙度值变大；而预平衡力加大会使硅片表面粗糙度值变小；施加超声振动可以明显提高加工效率、减小硅片表面粗糙度值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辽远	沈阳理工大学机械工程学院	48	238	10.0	13.0
2	王硕	沈阳理工大学机械工程学院	8	14	2.0	3.0
3	邵中青	沈阳理工大学机械工程学院	3	6	1.0	2.0
4	吕忠秀	沈阳理工大学机械工程学院	3	6	1.0	2.0