超薄熔石英玻璃的CO2激光热熔焊接工艺

• 作者: 于清旭 姜心声 王文华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 CO2激光 热熔焊接 熔石英玻璃
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 47-53
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.1003004

摘要

利用小功率40 kHz的CO2脉冲激光对25 μm厚的超薄熔石英玻璃与熔石英毛细管端面进行热熔焊接,研究和分析了占空比(脉冲激光功率)、离焦激光预热、离焦激光退火对熔石英玻璃热熔焊接的影响.结果表明,实现超薄熔石英玻璃与毛细管端面无气化穿孔、密封、牢固焊接的占空比为37％；占空比为20％的+2 mm离焦脉冲激光预热对超薄熔石英玻璃无裂纹/裂缝的焊接起到了关键作用；适当占空比的-2 mm离焦脉冲激光退火能够释放超薄熔石英玻璃在热熔焊接过程中产生的残余热应力,提高熔石英器件的性能,经激光焊接的光纤法布里-珀罗传感器的压力和温度曲线的线性度分别为0.9995和0.9991,而且重复性好.