氮化硅在触摸屏中的应用分析

• 作者: 张文余 曲连杰 谢振宇 郭建 闵泰烨 陈旭
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 触摸屏 透过率 氮化硅
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料物理和化学
• 页码范围: 466-471
• 分类号: O433.3|TN141.9|TN27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20122704.0466

摘要

研究了氮化硅材料在触摸屏领域中的应用,利用等离子体化学气相沉积技术,在一定厚度的玻璃表面沉积不同厚度的氮化硅薄膜.通过理论分析和试验测试的方法得到了氮化硅膜层厚度和折射率对触摸屏透过率以及表面宏观颜色的影响.分析结果表明,氮化硅膜层折射率对触摸屏的平均透过率影响明显,而膜层厚度对触摸屏的平均透过率影响很小,但是膜层厚度的改变对触摸屏特定波长处透过率和膜层宏观颜色影响很明显.在实际生产中可以通过改变沉积条件获得合适折射率及厚度的氮化硅薄膜材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲连杰		2	4	2.0	2.0
2	陈旭		11	41	4.0	5.0
3	郭建		8	24	3.0	4.0
4	闵泰烨		10	33	4.0	4.0
5	谢振宇		12	62	5.0	7.0
6	张文余		5	19	3.0	4.0